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大氣機械手Blade-S175-EX

大氣機械手廣泛用于硅晶圓以及LED藍寶石基片搬運。手臂采用先進的結構加強了手臂的剛性，并有效抑制振動，輕量化設計滿足高速要求。本體的制造工藝改進有效降低成本，提升市場競爭力。材料、加工以及表面處理多方面優選，以實現高潔凈度。具有多重安全保護功能。肘部和腕部靈活控制，使得機器人可以采用任意姿勢來取放晶圓，更節省空間，適應性更強。是半導體行業的優勢之選。

advantages

產品優勢
  • 手臂結構先進
    增強手臂剛性，抑制振動
  • 改進本體制造工藝
    降低成本，競爭力強
  • 個性化設計
    用戶可定制手指及接口
  • 高潔凈度
    優選材料、加工以及表面處理
  • 肘部、腕部靈活
    任意姿勢取放晶圓，節省空間，適應性強
  • 多重安全保護
    軟件控制系統，防止碰撞
  • 質量可靠
    高品質零部件，精密裝配，嚴格檢驗，高壽命

Application areas

產品應用領域

parameter

產品參數
  • 結構形式

    柱坐標型/SCARA型

  • 負載-名稱

    晶圓

  • 負載-直徑

    φ200mm/φ300mm

  • 負載-重量

    ≤0.5kg

  • 自由度數

    3

  • 最大回轉直徑

    505mm

  • 運動范圍-升降軸（Z軸）

    960mm

  • 運動范圍-回轉軸（T軸）

    340°

  • 運動范圍-伸展軸（R軸）

    645mm

  • 最大速度-升降軸（Z軸）

    400mm/s

  • 最大速度-回轉軸（T軸）

    340°

  • 最大速度-伸展軸（R軸）

    645mm

  • 重復定位精度-升降軸（Z軸）

    ±0.1mm (3σ)

  • 重復定位精度-回轉軸（T軸）

    ±0.01°(3σ)

  • 重復定位精度-伸展軸（R軸）

    ±0.1mm (3σ)

  • 潔凈度

    ISO CLASS 4

  • 主機重量

    90kg

  • 電源

    VAC 220V±10

  • 行程

    618mm

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