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產(chǎn)品中心

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TSS-3000 EFEM

EFEM是一個晶圓前端傳輸設(shè)備，是一個與SEMI標準兼容的界面系統(tǒng)，可以手動或者配合MR或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統(tǒng)提供單線接口供工廠控制，充裕的傳輸間距與工廠交互和簡單的方式供人工服務(wù)。占地面積小，采用帶外部軸的雙臂機械手，通過雙軸復(fù)合運動實現(xiàn)取放片，極大的提高了傳片效率的同時而又降低了產(chǎn)品維護成本。內(nèi)部全新的氣體導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，保證內(nèi)部空間潔凈度能夠滿足ISO Class 1級別，保證晶圓傳輸過程的潔凈度。內(nèi)部帶有多重互鎖保護，從軟件到硬件，多重保證晶圓傳輸過程中的安全，人員與設(shè)備的安全。

advantages

產(chǎn)品優(yōu)勢
  • 符合SEMI標準
    整機參照SEMI進行設(shè)計，符合半導(dǎo)體行業(yè)標準
  • 自主研發(fā)
    大氣手、aligner、SMIF、buffer等核心部件均自主研發(fā)，穩(wěn)定性高
  • 尺寸多樣性
    采用行業(yè)標準尺寸，內(nèi)部空間布局合理，結(jié)構(gòu)緊湊性強，可根據(jù)用戶需求定制
  • 傳輸效率高
    多款大氣手、aligner等部件可供選配，可配置外部軸，大氣手可實現(xiàn)多種取放功能，傳輸效率高
  • 標準化程度高
    內(nèi)部零部件高度標準化模塊化，互換性高
  • 兼容性強
    可根據(jù)用戶的實際需求進行非標定制


Application areas

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域

parameter

產(chǎn)品參數(shù)
  • 尺寸

    2100*750*2500mm

  • 重量

    ≤1100kg

  • 潔凈等級

    class 1

  • wafer放置位置精度

    ±0.1mm

  • wafer放置角度精度

    ±0.2°

  • WPH

    ≥150

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